靶材种类比较多,有金属类、合金类、氧化物类等等,用的行业也有所不同,应用很广泛。那么常见的金属靶材有哪些?溅射靶材是否希缺资源?下面我们一起了解一下。
一、常见金属靶材的种类
常规金属靶材镁Mg、锰Mn、铁Fe、钴CO、镍Ni、铜Cu、锌Zn、铅Pd、锡Sn、铝AL
小金属靶材铟In、锗Ge、镓Ga、锑Sb、铋Bi、镉Cd
难熔金属靶材钛Ti、锆Zr、铪Hf、钒V铌Nb、钽Ta、铭Cr.钼Mo、钨W、铼Re
贵金属靶材金Au、银Ag、钯Pd、铂Pt.铱lr、钌Ru、铑Rh、锇Os
半金属靶材碳C、硼B、碲Te、硒Se
二、溅射靶材是否属于稀缺资源
稀有金属,通常指在自然界中含量较少或分布稀散的金属，它们难于从原料中提取,在工业上制备和应用较晚。但在现代工业中有广泛的用途。中国稀有金属资源丰富，如钨、钛、稀土、钒、锆、钽、铌、锂、铍等已探明的储量，正在逐步建立稀有金属工业体系。
稀有轻金属：包括锂Li、铷Rb、铯Cs、铍Be。比重较小,化学活性强。
稀有难熔金属：包括钛、锆、铪、钒、铌、钽、钼、钨。熔点较高，与碳、氮、硅、硼等生成的化合物熔点也较高。
稀有分散金属：简称稀散金属,包括镓、铟、铊、锗、铼以及硒、碲。大部分赋存于其他元素的矿物中。
稀有稀土金属：简称稀土金属,包括钪、钇及镧系元素。它们的化学性质非常相似,在矿物中相互伴生。
稀有放射性金属：包括天然存在的钫、镭、钋和锕系金属中的锕、钍、镤、铀，以及人工制造的锝、钷、锕系其他元素和104至107号元素。
上述分类不是十分严格的。有些稀有金属既可以列入这一类又可列入另一类。例如铼可列入稀散金属也可列入稀有难熔金属。但是从上述描述中不难看出，有些特殊应用的溅射靶材的金属成分的确属于稀缺资源。
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