专利摘要显示,本申请涉及物理气相沉积用靶材制备的技术领域,具体涉及一种铬及铬基合金靶材、及其制备方法和应用。该制备方法具体包括以下步骤:将铬粉或铬基合金粉末混合均匀;将混合后的粉末模压至相对密度大于60%,得到预压坯料;将预压坯料装入石墨模具中;在惰性气氛保护下进行放电等离子体烧结;烧结完成后,冷却至600℃,然后随炉冷却至温度低于150℃后出炉;脱模并机加工,得到铬及铬基合金靶材成品。本申请提供的制备方法通过“预压成型+特定SPS工艺参数+分段控温冷却”的协同组合,解决了现有技术HIP工艺存在的材料利用率低、生产周期长、后续加工开裂风险高、晶粒粗大等问题,同时保持了靶材的高致密度和优异性能。
天眼查资料显示,苏州六九新材料科技有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本9924.812万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州六九新材料科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息24条,专利信息87条,此外企业还拥有行政许可6个。
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